微細貫通穴（TGV）

微細貫通穴加工＜TGV　ガラス穴あけ＞

液晶ディスプレイ、半導体デバイス、2.5Dインターポーザー、3D実装パッケージなどへの適用可能なガラスホールを高アスペクト比・高開口率で提供します。

TGV基板の表面/断面

TGVの断面の様子

ガラス種	無アルカリガラス・アルカリガラス・石英・耐熱ガラス
ガラスサイズ	120mm×120mm〜730mm×920mm
ガラスの厚み	0.05mmt〜1.65mmt
穴種	貫通穴（真円・楕円）
穴種	非貫通穴（真円・楕円）
穴形状	垂直型・砂時計型・逆円錐型
穴径	・垂直型 Φ300μm以上・砂時計型Φ20〜200μm ・逆円錐型Φ20μm以上＊板厚制限有
穴ピッチ	表面径×10% + 15μm
穴位置精度	±15μm以下
アスペクト比	最大 10:1（ガラス板厚/穴径）＊ガラス種制限有

上記グラフは砂時計型TGVの各板厚における作成可能なアスペクト比を示しています。

TGVと共に開発を行い、ガラスへのメッキ加工が可能となりました。TGV側壁への「コンフォーマルメッキ」、ホール内に充填する「フィリングメッキ」の加工を承ります。

メッキ処理後の基板でクロスカット試験を行い評価しています。メッキされた銅は強く密着しており、剥がれません。

メッキ種		コンフォーマルメッキ	フィリングメッキ
ガラス種		無アルカリガラス、アルカリガラス、石英ガラス、耐熱ガラス
ガラスサイズ		50mmｘ50mm　～　400mmｘ500mm
穴種		貫通（真円、楕円）	貫通（真円、楕円）
穴形状		垂直型、砂時計型、逆円錐型	垂直型、砂時計型、逆円錐型
穴深さ	貫通	100μm ～ 800μm	100μm ～ 600μm
穴深さ	非貫通	10um ～ 100μm	50μm ～ 100μm
穴径	貫通	50μm ～	50μm ～ 100μm
穴径	非貫通	10μm ～	50μm ～ 100μm
密着強度		8 N/cm
クロスカット試験		JIS5600K 剥がれなし

TGV等のガラスとの組合せにより、様々な用途への展開が可能です。